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净化工程施工的需求留意关键

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净化工程施工的需求留意关键

发布日期:2020-01-11 作者: 点击:

  无尘车间的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到重视的问题,随着洁净室污染源的操控作用添加及末级过滤器功率的进步级,对有关标准、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守,净化板已有不少讨论;FFU在使用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改善,对是否选用FFU回风体系也是个热门:悬浮分子污染(AMC)的操控在微电子及IC工业中已日益说到日程上来,受到重视。以下对这些问题的状况别离作归纳和剖析。

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  无尘洁净室内必定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等详细状况而异,它不只受室内发尘量及过滤器功率还受其他要素影响,就工业洁净室而言,影响洁净度及挑选气流速度的要素主要是:

  

  (1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒开释源,根据详细状况而异,改变很大;

  

  (2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和方位变化及人员活动状况等的搅扰构成部分涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层;

  

  (3)自净时刻(恢复时刻)的操控要求:洁净室中事端开释或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会形成洁净度的恶化,恢复到原来洁净度的自净时刻决定于气流速度;对自净时刻的操控要求取决于此时刻结构内(恶化的洁净度下),对产品生产的质量及成品率影响的承受能力;

  

  (4)末级过滤器的功率:在必定的室内发尘量下,可选用较高功率的过滤器以下降气流速度;为节能应考虑选用较高功率的过滤器,并下降气流速度,或选用较低功率的过滤器并选用较高的气流速度,以求流量与阻力的乘积最小;

  

  (5)经济性考虑:过大的气流速度形成出资及运行费用的添加,适宜的气流速度为以上诸要素合理的归纳,过大往往不必要,亦不必定有作用;

  

  (6)对洁净度要求低的洁净室,有时换气次数决定于室内排热的要求。

  

  FFU体系的使用

  

  FFU在使用寿命及保护上现已实践证明无可担心。当时其改善主要是:

  

  (1)采纳均流及减少噪音的办法,噪音可在50db以内;

  

  (2)电动机选用DC/EC(电子整流电机),以耗较原沟通电机节省近50%,因为小风机所用小容量(功率<1/2HP)的沟通电机,一般皆为电容分相式或隐极式,其功率仅40%左右,而DC/EC电机的功率可达75~80%;在调速操控上可每台单独的以过滤器降压进行操控以节省能耗,但现在出资回收期尚长而未广泛选用,一般常用分组群控或悉数群控。

  

  (3)但FFU出口静压不能过大,一般选用出口风速成0.38m/s,此时其静压一般在250Pa以内。

  

  FFU回风体系与其他方法相比的长处

  

  长处:

  

  (1)灵活性大,便于改造;

  

  (2)占用建筑物空间较少;

  

  (3)洁净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室对洁净室污染的或许性。

  

  缺陷:

  

  (1)要求回风道悉数阻力(包含多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时),一共应操控在165Pa左右,以满足运行时最大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大,回风道尺寸亦要较大,多孔地板及格栅等的阻力要小,一般作法是:操控干表冷器阻力在50Pa左右,回风道阻力在15Pa以内,不然就需求再增设加压风机体系,这就是下降了FFU体系的归纳长处。

  

  (2)选用DC/EC电机后,单位风量的能耗或许比当时一般大型离心风机的会集体系为低,但已有研讨指出,比选用改善后的大型轴流风机的回风体系的能耗还是要高。因此需求留意大型轴流风机的功率进步及其体系的阻力下降的要素。

  

  (3)一般FFU体系由于单位风量的能耗较大,因此洁净室的冷负荷亦相应添加。

  

  详细状况下的评价

  

  (1)FFU用于老建筑物改形成洁净室时,其归纳经济性一般往往可取。

  

  (2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率100%时,对大的体系选用FFU,当时还是不经济的;对小体系有意义作详细比较。


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